东方晶源推出新一代电子束检测设备 光学检测灵敏度提升至20nm

【东方晶源推出新一代电子束检测设备 光学检测灵敏度提升至20nm】东方晶源宣布推出新一代电子束检测设备DR-SEM r655,该产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组,以及升级版传片系统和算法系统,满足国内先进制程产线应用需求。其深紫外光源系统基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源,光学检测灵敏度提升至20nm。

【东方晶源推出新一代电子束检测设备 光学检测灵敏度提升至20nm】东方晶源宣布推出新一代电子束检测设备DR-SEM r655,该产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组,以及升级版传片系统和算法系统,满足国内先进制程产线应用需求。其深紫外光源系统基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源,光学检测灵敏度提升至20nm。

来源: 东方财富网
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